光氧等離子凈化一體機綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術結合，對廢氣和臭氣進行協同凈化處理：廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波地照射，瞬間產生光解反應；經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變分解反應；如此協同地產生一系光解和分解反應，經過多級凈化后從而達標排放。
一、等離子分解區
等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，采用脈沖高頻高壓等離子體電源，利用雙介質齒板放電北裝置，以頭部放電形式產生等離子體，在毫秒級的時間內，把空氣和廢氣分子擊穿，發生一系列分化裂解反應，產生、、量的各種活性自由基、電子、離子、臭氧、原子氧、生態氧等，在納秒級的時間內，瞬間對廢氣和臭氧分子進行氧化還原反應；活性自由基可以 地破壞各種病毒、中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能將廢氣分子異味氣體分解可還原為低分子物質；另外，借助等離子體中的離子與物體的聚合吸附作用，可以對小至亞微米級的細微廢氣顆粒物進行 的吸附沉降處理。
放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
二、Uv紫外線光解區
（1）利用的臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
（2）利用臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3（臭氧），臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。
（3）惡臭氣體利用排風設備輸入本凈化設備后，凈化設備運用UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
（4）利用UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅的目的。
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