PI空氣軸承載物臺定位器，Physik Instrumente為微納米測量要求提供了多種線性載物臺定位系統(tǒng)。米定位線性平臺可以基于三種不同的原理：帶無摩擦彎曲直線導(dǎo)軌的壓電驅(qū)動(dòng)器;帶空氣軸承的磁力直線電機(jī);和“無軸承" - 由磁懸浮引導(dǎo)。PI 提供三種解決方案。

Physik Instrumente 線性載物臺

PI空氣軸承載物臺定位器

A-523 滑翔機(jī) 高精度 Z 軸/傾斜載物臺，帶空氣軸承

高性能 • 潔凈室兼容 • 薄型

·         Z 至 ±2.5 mm 的行程范圍

·         旋轉(zhuǎn)范圍為 θX、θY 至 ±1°

·         負(fù)載能力達(dá) 8 kg

·         平臺直徑 250 mm

·         總高度 60 mm

A-68x滑翔機(jī)RLA旋轉(zhuǎn)載物臺，帶空氣軸承，大孔徑

無摩擦，電動(dòng)

·         365 mm 直徑運(yùn)動(dòng)平臺，260 mm 直徑孔徑

·         低調(diào)

·         偏心度和平坦度< 300 nm

應(yīng)用領(lǐng)域

層析成像，光束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢測，測量技術(shù)，檢測系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成顆粒，這使得PIGLIDE平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相力矩電機(jī)

·         無 刷

·         低齒槽轉(zhuǎn)矩

附件和選件

·         增量式或式編碼器

·         滑翔過濾器和空氣制備套件

·         單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器

·         多軸/定制設(shè)置

·         花崗巖底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

A-63x PIglide RL平面旋轉(zhuǎn)載物臺，帶空氣軸承

無摩擦，電動(dòng)

·         150 毫米、200 毫米或 350 毫米

·         運(yùn)動(dòng)平臺直徑

·         低調(diào)

·         偏心度和平坦度 < 100 nm

·         通過磁性預(yù)緊力在靜止時(shí)自鎖的選項(xiàng)

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)，晶圓檢測，晶圓對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢測系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成顆粒，這使得PIGLIDE平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相力矩電機(jī)

·         無 刷

·         無槽

·         低齒槽轉(zhuǎn)矩

附件和選件

·         增量式或式編碼器

·         真空貫穿件

·         通過磁性預(yù)緊力實(shí)現(xiàn)靜止自鎖

·         根據(jù)要求清除光圈

·         滑翔過濾器和空氣制備套件

·         單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器

·         多軸/定制設(shè)置

·         花崗巖底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

A-62x滑翔RM旋轉(zhuǎn)臺，帶空氣軸承

無摩擦，非常適合分度、定位、掃描、測量技術(shù)

·         兼容潔凈室

·         運(yùn)動(dòng)平臺直徑從 50 mm 到 300 mm

·         負(fù)載能力可達(dá) 4170 N

·         偏心度和平坦度< 200 nm

·         可垂直或水平安裝

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)，計(jì)量，檢測系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

PI空氣軸承載物臺定位器