智慧城市網
技術文章
對高速偏擺鏡你了解嗎？
閱讀：3839 發布時間：2021-1-29 PI的壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺將亞納米級分辨率和導向精度以小串擾相結合。這使得其特別適用于計量學中的應用、超高分辨率顯微鏡、干涉測量或半導體芯片生產的檢測系統。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺可用于毫秒穩定精密定位和動態掃描，頻率高達幾百赫茲，多達六自由度。
擁有zhuan 利的傳感器設計、無摩擦柔性鉸鏈導向和長使用壽命的PICMA®壓電陶瓷促動器*地組合在一起，帶來了優異、堅實的機械部件。壓電陶瓷運動控制器支持定位和掃描性能優化，可通過數字或模擬接口和輕松編程實現簡易集成。
壓電柔性鉸鏈傾斜鏡
壓電陶瓷柔性鉸鏈鏡面平臺的高剛性可實現高動態性和優異的定位穩定性。該緊湊型設備常用于激光加工和激光控制中的射束偏轉。在一個固定的公共樞軸點及偏振方向無變化的的情況下，其并聯設計使傾斜軸上的性能*。
高速偏擺鏡結合zui高動態和緊湊設計
光束偏轉達4.4毫弧度
亞毫弧度級分辨率
亞微秒級響應時間
無摩擦、高精度柔性鉸鏈導向系統
包含BK7反射鏡
可選配位置傳感器
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命