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位移傳感器又稱為線性傳感器,是一種屬于金屬感應的線性器件,傳感器的作用是把各種被測物理量轉換為電量。在生產(chǎn)過程中,位移的測量一般分為測量實物尺寸和機械位移兩種。按被測變量變換的形式不同,位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型和結構型兩種。常用位移傳感器以模擬式結構型居多,包括電位器式位移傳感器、電感式位移傳感器、自整角機、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。數(shù)字式位移傳感器的一個重要優(yōu)點是便于將信號直接送入計算機系統(tǒng)。這種傳感器發(fā)展迅速,應用日益廣泛。位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關的量,位移傳感器(圖1)位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的。小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率gao的可達到納米級)、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點,在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應用。
在實際應用中,位移具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號u01'和u02'。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當?shù)拇胧δ獱枟l紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一:直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,實現(xiàn)四倍頻細分。其二:電路細分。
霍耳式位移傳感器:它的測量原理是保持霍耳元件(見半導體磁敏元件)的激勵電流不變,并使其在一個梯度均勻的磁場中移動,則所移動的位移正比于輸出的霍耳電勢。磁場梯度越大,靈敏度越高;梯度變化越均勻,霍耳電勢與位移的關系越接近于線性。圖2中是三種產(chǎn)生梯度磁場的磁系統(tǒng):a系統(tǒng)的線性范圍窄,位移Z=0時,霍耳電勢≠0;b系統(tǒng)當Z<2毫米時具有良好的線性,Z=0時,霍耳電勢=0;c系統(tǒng)的靈敏度高,測量范圍小于1毫米。圖中N、S分別表示正、負磁極?;舳轿灰苽鞲衅鞯膽T性小、頻響高、工作可靠、壽命長,因此常用于將各種非電量轉換成位移后再進行測量的場合。
光電式位移傳感器:它根據(jù)被測對象阻擋光通量的多少來測量對象的位移或幾何尺寸。特點是屬于非接觸式測量,并可進行連續(xù)測量。光電式位移傳感器常用于連續(xù)測量線材直徑或在帶材邊緣位置控制系統(tǒng)中用作邊緣位置傳感器。
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HOMMEL 240805
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HOMMEL 256125
HOMMEL 10001182 BAUMER 編碼器 314619
HYDAC 壓力表 HN60-01-A63/160/G1/4B
HEIDENHAIN 傳感器 MT12W,ID:231011-03
HEMOMATIK 備件 HM18P-A-5M
THALHEIM 編碼器 ITD 21 A4 Y73 1024 R NI K2SK1R S12
DOLD 繼電器 OW 5669.12/588/61
NOKEVAL 模擬轉換器 RS485 23293
NOKEVAL 溫服發(fā)射器與接收器成套 FTR970B-PRO
MTS 傳感器 RHM0050MD701S2B6101
ELCIS 編碼器 XW90K-180003600-45/45-9N-N-LL-R
KEB 電機 00.08.100-0967 24V DC P=11W
HYDAC 傳感器 HDA3840-A-400-124
HYDAC 開關 EDS344-2-250-000RECHNER KA0403 KAS-80-M16-S-K-PEEK-Y3-3G-3D
JUMO 701140/8888-888-23-064
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HYDAC ZBM300
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REXROTH R911325863 LEM-AB-192T-21-NNNN
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