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深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
ATW-08晶圓減薄前貼膜機(半自動桌上型)
ATW-08晶圓減薄前貼膜機(半自動桌上型)
ATW-08半自動晶圓減薄前貼膜機(桌上型)規格參數:
晶圓尺寸 4”&5”&6”&8”晶圓;
晶圓厚度 300~750微米;
晶圓種類 硅, 砷化鎵或其它;
單平邊,雙平邊,V型缺口;
膠膜種類 藍膜或者UV膜;
寬度:120~240毫米;
長度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
貼膜原理 防靜電滾輪貼膜;
貼膜動作 自動拉膜和貼膜;
晶圓臺盤 通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤;或硅膠臺盤,或陶瓷臺盤;
裝卸方式 晶圓手動放置與取出;
防靜電控制 防靜電特氟隆涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發生器;
切割系統 *的手動可調整環形切刀適用于不同的晶圓外形,刀頭帶獨立加熱機構無任何飛邊,并省去修邊。
*的手動直切刀設計,為世界省膜的設計;切割刀溫度:MAX達150℃;
晶圓定位 通用標線/彈簧銷釘;
控制單元 基于PLC控制,并帶5.7”觸摸屏;
安全防護 配置緊急停機按鈕;
電源電壓 相交流電220V,10A;
壓縮空氣 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺;
機器外殼 白色噴塑金屬外殼;
體積 560毫米(寬)*880毫米(深)*500毫米(高);
凈重 80公斤;
半自動晶圓減薄前貼膜機ATW-08性能
晶圓收益 ≥99.9%;
貼膜質量 沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產能 ≥80片晶圓;
更換產品時間 ≤5分鐘
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