當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時,先經過等離子體化學反應過程,即電子首先從電場獲得能量,通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去,獲得能量的分子或原子被激發,同時有部分分子被電離, 從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下,介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子,使其電離、解離和激發,然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應,使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質,或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質,從而使污染物得以降解去除。
等離子光氧一體機的應用也比較廣泛,主要運用在造紙業、制藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的有毒有害氣體、惡臭和異味的處理,等離子氧一體機對部分行業的凈化效率在95%左右,是目前市場上較好的廢氣凈化設備。