工藝流程通常有三種形式：
a、正壓方式 新風?過濾器?活性氧離子發生器?離子風?污染散發空間 室外空氣通過過濾器進入活性氧離子發生器，與活性氧離子發生器產生的高能離子形成高能離子風， 送風系統將離子風擴散到需要處理的液面、空間，污染源在離子風的包覆下在界面上直接反應，從 而不會擴散到室外污染大氣，氧離子有效氧化分解污染氣體中的致臭分子和揮發性有機化合物，從而提高 區域空氣質量，改善工作環境。
b、 負壓方式 新風?過濾器?活性氧離子發生器 ?離子風 ?污染空間?氣體收集系統 ?離子反應裝置 排風機?達標排放 將污染嚴重的空間封閉，通 體收集系統將污染氣體送入離子反應器；過濾后的新風經過活性氧離 子發生器產生大量的離子風，同時被送入離子反應器內；離子風和污染氣體在離子反應器內充分混合、反 應，反應后的氣體達標排放。
c、復合方式 新風?過濾器?活性氧離子發生器?離子風?輕度污染空間 ?離子風 重度污染空間?氣體收集系統?離子反應裝置?排風機?達標排放 活性氧離子發生器產生的高能離子風通過送風系統將離子風擴散到輕度污染空間，污染源在離子風 的包覆下直接反應，氧離子氧化分解污染氣體中致臭分子，從而改善輕度污染空間的空氣質量。而對于污 染嚴重的空間，則通 體收集系統將污染氣體送入離子反應器；活性氧離子發生器產生大量的離子風同 時被送入離子反應器內；離子風和污染氣體在離子反應器內充分混合、反應，反應后的氣體達標排放。
