在真空技術(shù)中，材料的蒸氣壓和蒸發(fā)（升華）速率是需要重視的參數(shù)。如真空油脂、真空規(guī)灼熱燈絲的飽和蒸氣壓，均能成為影響極限真空度的起源。鍋和鋅具有很高的蒸發(fā)速率，因此不宜用作超高真空閥件的鍍層材料，如在合金成分中，鎘和鋅的含量很高，這種合金也應(yīng)避免采用。

在真空閥門設(shè)計(jì)中，材料的冷焊是一個(gè)不可回避的問題，它可能出現(xiàn)在密封面上、法蘭連接處以及縲紋副上。這種冷焊的機(jī)理是，在真空情況下，特別是在超高真空情況下，金屬表面會(huì)失去吸氣層，吸氣層的消失會(huì)導(dǎo)致金屬表面摩擦因數(shù)增加，這樣就有可能造成金屬接觸表面局部或全部焊住。

真空閥門具有下列特點(diǎn)：

壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。

對(duì)這類閥門基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。

按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組：

1）低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱.

2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。

3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.

4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。

選用真空泵閥門應(yīng)注意的事項(xiàng)

所應(yīng)用的真空區(qū)域；

能承受的烘烤溫度；

能承受的環(huán)境溫度；

關(guān)閉時(shí)閥門兩邊所承受的壓力差；；

開啟/封閉次數(shù)計(jì)的壽命；

為超高真空金屬閥，還需知道其允許的升溫率和降溫率。

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