中國至少已浮出三家晶圓廠將采用SOI工藝*制程。根據MarketsandMarkets新的預估,SOI市場在2022年市場價值將達18.6億美元,2017-2022年期間平均復合成長率將達29.1%。其中,亞太區晶圓廠將是主力客戶。
SOI之所以能快速增長,主要來自消費類電子市場增長、成本下降以及芯片對于低工耗功能的需求快速攀升。尤其來自12吋晶圓的需求將于2022成為SOI大的市場。
許多亞太區客戶正在大量采用SOI工藝制程生產芯片,其芯片還涵蓋消費類芯片、智能手機客戶以及資通訊預料也是SOI在2017-2022年之間成長快的市場。IC客戶博通(Broadcom)、 Qorvo、高通( Qualcomm)、Murata也在計劃啟動12吋芯片投產計劃。
前不久落戶成都的GLOBALFOUNDRIES晶圓廠使用22nm FD-SOI工藝,可以把電壓做到0.4V,非常適合移動、IoT物聯網芯片等低功耗,而且成本低廉,這是GF主攻FD-SOI工藝的原因。
上海華力微電子去年底宣布投資387億元建設第二座12吋晶圓廠,工藝路線是28nm、20nm及14nm FinFET,月產能4萬片晶圓,預計2018年試產,2022年量產。但其二期晶圓廠有可能采用FD-SOI工藝。 同樣是位于上海的新傲2015年就開始生產8吋SOI工藝了,使用的是法國Soitec的Smart Cut技術。新傲科技正在規劃量產12吋RFSOI晶圓。
中國的上海硅產業投資有限公司則于2016年收購14.5%的Soitec股權。其任務是建立半導體材料產業生態系統,聚焦于超越摩爾定律。也被視為是布局SOI的重要舉措。
FD-SOI與FinFET工藝的孰優孰劣很難一言而盡,*邏輯工藝自28納米節點分野之后,FinFET與FD-SOI工藝的爭論就開始出現。盡管FinFET目前占據上風,但FD-SOI也有可取之處,特別是在低功耗方面。FinFET的主要支持者是英特爾、臺積電、中芯、聯電;FD-SOI主要是IBM、ST意法半導體、三星、GLOBALFOUNDRIES等。
其實FinFET與FD-SOI。兩種技術其實師出同門,兩種技術都是由臺積電前技術長胡正明發明。不過,它們在半導體廠商中的受追捧程度不同。。。