英國CRESSINGTON離子濺射儀

產品范圍：

英國CRESSINGTON離子濺射儀、CRESSINGTON鍍碳儀、CRESSINGTON真空鍍碳儀、CRESSINGTON、CRESSINGTON鍍膜儀、CRESSINGTON鍍金儀、CRESSINGTON濺射鍍膜機

品牌介紹：

英國CRESSINGTON是業內電鏡配套高性能鍍膜儀方案供應商也是此類配套方案的，自從上世紀六十年代開始，伴隨著商業掃描電鏡的普及，CRESSINGTON的配套鍍膜設備也一并研發和配套使用，并獲得科研工作者*。經過近六十年發展，英國CRESSINGTON依然只專注于顯微鏡配套鍍膜產品的設計研發和業內性能市場地位，現階段已有超過六千客戶群，也是配套掃描電鏡的鍍膜儀品牌。其冷態濺射鍍膜技術不但可以獲得高質量膜層，也解決了長久以來困擾用戶的熱損傷和熱變形問題，而其另一濺射電流回路設計也保證了真正均勻一致的鍍膜。

主要型號：

CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108

Cressington 108+108C高性能鍍金鍍碳儀簡介：

Cressington 108+108C 全自動鍍金鍍碳聯用儀是高質量的鍍膜儀系統 ，在保證高性能鍍膜同時，不會引起鍍金與鍍碳的相互污染，提高儀器使用效率以及鍍膜精度。

優勢說明：

●自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的導電噴鍍效果。

●通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

●在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果。

●數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

●*的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。

●108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

技術規格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結構

樣品臺：可放置12個標準SEM樣品座，高度可在 60mm內調節

濺鍍材料：Bradley 型高純度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，最大180A，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流40mA，程序化數字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb  電流: 0 - 200A

厚度監測器： MTM-10高精度厚度監測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統)