北京飛凱曼公司提供氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）。（MFC，Mass Flow Controller），是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的*的控制單元。
的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備（如擴(kuò)散、氧化、外延、ＣＶＤ、等離子刻蝕、濺射等）以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中；并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。

詳細(xì)介紹

北京飛凱曼公司提供氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的*的控制單元。

的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備（如擴(kuò)散、氧化、外延、ＣＶＤ、等離子刻蝕、濺射等）以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中；并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質(zhì)量流量，具有溫度、壓力囪動補(bǔ)償特性。

產(chǎn)品功能和特點(diǎn)：

高精度<0.2%FS

zui高三年質(zhì)保

技術(shù)參數(shù)：
1.量程：20/50/100/250/500/1000/3000 sccm

2.氣體類型：非腐蝕性氣體 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2

3.測量精度：

N2, 25°C, 1 bar:

≤ ± 0.2 % F.S. 對于 0...10% F.S.

≤ ± 1 % O.R. 對于 10...* F.S.

4.*穩(wěn)定性：± 0.25 % F.S. /年

5.工作溫度：0-50 ºC

6.氣體壓力：0.5-3 Bar

7.輸入輸出：0…5 V

8.氣管接頭：¼ 不銹鋼卡套

9.漏率：Helium Leak check <10^-10 mbar l/s

10.電源：+12-24V

11.響應(yīng)時間：<800 ms

詳細(xì)信息請咨詢我們。

11MFC-T型

北京飛凱曼公司提供（MFC）。（MFC，Mass Flow Controller），是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的*的控制單元。

產(chǎn)品功能和特點(diǎn)：

超快響應(yīng)速度 <200 mS【常規(guī) >1-2S】

zui高三年質(zhì)保

技術(shù)參數(shù)：
1.量程：20/50/100/250/500/1000 sccm

2.氣體類型：非腐蝕性氣體 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2

3.測量精度：

N2, 25°C, 1 bar:

≤ ± 0.5 % F.S. 對于 0...10% F.S.

≤ ± 2 % O.R. 對于 10...* F.S.