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微米納米世界里造大飛機傳感器
中國粉體網訊 越來越多功能被集成到中，以電子羅盤為例，它與三軸陀螺儀、三軸加速度傳感器組成九軸系統，成為滿足精準定位需求的關鍵器件。從導航的地磁傳感器，到檢測海拔氣壓的壓力傳感器，智能依靠各種各樣的微傳感器“眼觀六路、耳聽八方”。
記者從今年工博會高校展區項目發布中獲悉，上海交通大學正準備公開展示其微納集成制造技術，在電子顯微鏡下的微米納米世界里，不但能造出可用于的高度集成傳感器，還能造出大飛機上的“高精尖”傳感器。
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自主研發一系列微納傳感器
在智慧城市中，傳感器就是“五官”和“皮膚”，承擔著感知并獲取環境中一切信息數據的功能，并追求在更小的器件空間內集成大的“感官功能”。作為集成電路器件的延伸，各類新型傳感器芯片如微型壓力傳感器、加速度傳感器等，通常都包含可動的微小機構，需采用*加工手段，精度甚至達到頭發絲直徑的百分之一。梅特勒托利多SB-2T稱重傳感器目前，我國高價值傳感器主要依賴進口，國產器件*小且多處于低端。
上海交大電子信息與電氣工程學院有一支40多名師生組成的微納集成制造技術團隊，*從事基于微機電系統（MEMS）的高性能傳感器研發。團隊負責人丁桂甫介紹，在傳統集成電路硅材料的微加工技術之上，通過工藝兼容，合理引入金屬、聚合物、陶瓷、碳基等多種類型的敏感材料和功能材料，就能豐富和發展微納集成的技術內涵。進入學院的微米納米加工技術重點實驗室，基于這樣的微米納米級“智能工廠”，各類非硅材料在傳感器芯片中被高精度集成。他們*建立多元兼容的集成制造技術體系，成功開發出一系列具有自主知識產權的微納傳感器。
為航空發動機研制提供支撐
我國大型客機C919已成功上天，但如何真正擁有屬于自己的大飛機“心臟”——航空發動機，仍是擺在國人面前的一道難題。其中，對航空發動機葉片設計優化所需的高溫原位檢測技術，需求為迫切。上主要航空發動機制造商早在上世紀80年代就開展相關研究，國內在這方面亟須突破。
對此，上海交大微納集成制造技術團隊內重要的航空發動機研制單位，將傳感器的*設計制造技術應用于高溫傳感器研制，重點解決耐高溫合金材料的兼容集成工藝難題。雙方聯合攻關，對特種加工設備數十次改造，梅特勒托利多SB-2T稱重傳感器加之無數次的工藝優化實驗，終于成功研制出可在發動機葉片表面上原位集成的薄膜型高溫傳感器，其敏感結構的厚度不及頭發絲的五分之一，幾乎不會對空氣動力特性產生影響。其檢測溫度上限可達1200攝氏度，有望滿足目前航空發動機研制的迫切需求。丁桂甫說：“相信隨著研發深入，更高監測溫度和更高穩定性的原位集成薄膜溫度傳感器，會為*航空發動機研制提供支撐。”
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建專業技術平臺服務社會企業
*如何推向產業應用？這支技術團隊在市科委支持下建立起“非硅微納集成制造專業技術服務平臺”，面向社會開展技術推廣。
在一家專業從事糖尿病診療設備開發的科研科技公司，微納集成制造技術團隊在其創建初期就協助完成動態血糖傳感器電極初始原型的樣品研制，承擔了柔性電極小批量制造工藝優化和批量制造成套技術開發。他們指導企業建成投資3000萬元的植入式微針電極生產工藝線，微針電極核心技術指標達同期產品的*水平。
【蘭瑟★電子】是國內規模較大、品種較齊全的進口傳感器一級代理商，主要銷售梅特勒托利多SB-2T稱重傳感器,稱重傳感器、壓力傳感器、位移傳感器，品牌包括美國Transcell，美國Celtron,美國Nobel,美國Tedea-Huntleigh（Tedea現貨供應），等世界*公司。
