日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

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產品簡介

產品描述日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等

詳細介紹

產品描述

日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

特點

1.工作溫度360℃和500℃。

2.采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

3.高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。

4.磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

5.可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。

6.標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

安全性

1.門檢測開關

2.溫度過升防止器

3.氧濃度異常安全裝置

4.氮氣壓力檢測

5.氮氣流量檢測

6.冷卻水流量檢測

7.漏水傳感器

8.過電流漏電漏電保護開關

技術參數

日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數：

型號			DTN430C	DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮氣置換 +強制送風循環
性能	使用溫度范圍		室溫+50～360℃		室溫+50～500℃
	溫度調節精度		±0.5℃（at360℃）		±1.0℃（at500℃）
	溫度分布精度		±5.0℃（at360℃）		±8.0℃（at500℃）
	溫度到達時間		約80分		約 110分
	氧濃度		20ppm以下
	氧濃度到達時間		≤20分（250L/min氮氣）	≤25分（250L/min氮氣	）≤ 20 分（250L/min氮氣）	≤25分（250L/min氮氣）
	潔凈度		溫度恒定時 100級
構成	內裝		不銹鋼板
	外裝		冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	斷熱材		硅酸鋁棉
	加熱方式		不銹鋼加熱管		合金加熱絲
	加熱功率	主加熱器	6.75KW	9KW	9.5KW		14.2KW
		N2預熱	1KW
	冷卻機構		不銹鋼冷卻水換熱器
	HEPA過濾器		集塵效率：0.3um 粒子 99.97%以上
控制器	溫度控制方式		PID控制
	溫度控制器		液晶觸摸屏+PLC
	運行功能		手動定值運行、自動程序運行
	程序模式		程序運行 9 個，每個程序可設置 9步（可擴展）
	附加功能		操作員等級認證
	加熱器回路控制		SSR驅動
	傳感器		K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）
安全裝置			門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等
規格	內尺寸（寬×深×高mm）		450×450×450	660×500×660	450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（寬×深×高mm）		1090×950×1540	1300×1000×1750	1240×1010×1750	1450×1060×1960
	內容積		91L	216L	91L	216L
	棚板層數 /層間距		12 層/30mm	19 層/30mm	12 層/30mm	19 層/30mm
	排氣口		40KF法蘭
	氮氣入口		Rc1/2
	冷卻水入口		Rc3/4
	熱水出口		Rc3/4，2個
	電源（50/60Hz）額定電流		3相AC380V 16A	3相AC380V 19A	3相AC380V 20A	3相AC380V 27A
	重量		約900kg	約1100kg	約900kg	約1100kg
選購品			棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機 / 運行 /故障）、以太網通信功能