測(cè)試速度提高兩倍，助力探索創(chuàng)新
4200A-SCS 是一個(gè)模塊化、可定制高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時(shí)進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測(cè)試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間切換，無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS 是性能的分析儀，可加快用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件的測(cè)試。
特點(diǎn) | 優(yōu)勢(shì) |
| 將源測(cè)量單元、C-V 單元和超快脈沖 I-V 單元無縫結(jié)合的一體化系統(tǒng) | 快速、清晰和準(zhǔn)確地執(zhí)行 I-V 特性分析、交流阻抗測(cè)量、波形捕獲和瞬態(tài) I-V 測(cè)量 |
| Clarius™ 基于 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標(biāo)控制 | 高級(jí)測(cè)試定義、參數(shù)分析、圖形繪制和自動(dòng)化功能，實(shí)現(xiàn)清晰、的測(cè)量和分析 |
| 內(nèi)置上下文相關(guān)的測(cè)量視頻和 450 多種應(yīng)用測(cè)試 | 快速啟動(dòng)測(cè)試及提供測(cè)量幫助和故障排除向?qū)?/td> |
| I-V 源測(cè)量單元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測(cè)量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測(cè)量分辨率 |
| C-V 多頻率電容單元 (CVU) | 交流阻抗測(cè)量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率范圍 |
| I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間輕松切換或?qū)?C-V 測(cè)量移至任何終端，而無需重新布線或抬起探針 |
| 脈沖式 I-V 超快脈沖測(cè)量單元 (PMU) | 兩個(gè)獨(dú)立或同步的高速脈沖式 I-V 源和測(cè)量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴(kuò)大到幾十皮安 |
| 高電壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU) | 兩通道高速脈沖電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可定制和升級(jí) | 現(xiàn)在或以后均可根據(jù)需要隨時(shí)添加模塊 |
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4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件
| 210V/100mA，0.1 fA 分辨率 用于兩端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析 4200A-SCS-PK1 套件包括：
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4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件
| 210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK2 套件包括：
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4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
| 210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK3 套件包括：
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4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件
| 用于使用硅 CMOS 技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測(cè)量 4200-BTI-A 套件包括：
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4200A-SCS
| Current-Voltage (I-V) Range | Capacitance-Voltage (C-V) Range | Pulsed I-V Range |
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| 0.1 fA – 1 A 0.2 µV – 210 V | 1 kHz – 10 MHz | ±40 V (80 V p-p)，±800 mA 200 MSa/s，5 ns 采樣率 |
