概述
Edwards 有源倒磁控管真空計(jì) (AIM) 在一個(gè)緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合,均已證明這些真空計(jì)堅(jiān)固。
此真空計(jì)具有線性輸出,易于與計(jì)算機(jī)或 PLC 結(jié)合使用。
此真空計(jì)具有線性輸出,易于與計(jì)算機(jī)或 PLC 結(jié)合使用。

應(yīng)用
- 適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的需要穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機(jī)和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等應(yīng)用。
功能和優(yōu)勢
- 驅(qū)動(dòng)電子模塊與規(guī)頭合并在一起,降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機(jī)架空間
- 低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供別的抗擾性,并允許使用長電纜(長可達(dá) 100 m)
- 低磁場型 XL 適用于性應(yīng)用,例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。
- 可更換的管體允許快速更換管件而無需預(yù)校準(zhǔn)
- 已獲 CSA C/US 批準(zhǔn)
- 范圍、符合標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標(biāo)準(zhǔn)直流電,對電壓波動(dòng)有很好的承受力
- 0 到 +10 V 直流電壓的標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出和真空計(jì)標(biāo)識(shí)符允許輕松連接計(jì)算機(jī)或 PLC 和進(jìn)行故障輸出指示
- 電極維修套件允許用戶進(jìn)行清潔和維護(hù)
- 的放電器設(shè)計(jì)即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電
- 壓力范圍更大
數(shù)據(jù)
壓力范圍 | |
AIM-X | 10-2 至 10-9 mbar |
準(zhǔn)確度 | 通常為 ±30% |
大過壓 | 10 bar (145 psi) |
電源供給 | +13.5 至 +36 V 直流(大 1 V 波動(dòng)) |
功耗 | 2 W(大) |
輸出信號 | 2 至 10 V 直流 |
設(shè)定點(diǎn) | 開路集電極晶體管 |
大電壓 | 40 V 直流 |
電流 | 100 mA(大) |
溫度范圍 | |
工作 | +5 至 +60°C |
存儲(chǔ) | 0 至 +70 °C |
暴露于真空中的材料 | |
NW25 型 | 不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃 |
內(nèi)部體積 | 26 cm3 |
重量 | 0.81 kg |
外部接口連接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 |
真空接頭 | NW25 |
標(biāo)準(zhǔn) | |
電磁兼容性 | EN 61326 |
| (B 類排放) |
外殼等級 | IP40 |
準(zhǔn)確度在測量范圍極限處會(huì)降低