高阻四探針測試儀高阻四探針測試儀
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下:
直線四探針測試布局如圖8,相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據物理基礎和電學原理:
當電流通過1、4探針,2、3探針測試電壓時計算如下:
四探針測試結構
當電流通過1、2探針,4、3探針測試電壓時計算如下:從以上計算公式可以看出:方阻RS只取決于R1和R2,與探針間距無關.針距相等與否對RS的結果無任何影響,本公司所生產之探針頭全部采用等距,偏差微小,對測試結果更加精準。
本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法,適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程,無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結構合理、質量輕便,運輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數據,自動生成報表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率,壓強 配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.
雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。
要求:
該儀器設計符合單晶硅物理測試方法。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數據進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。