DektakXT

在各個領(lǐng)域完成重要數(shù)據(jù)的采集處理

薄膜監(jiān)測 — 高效率的保證

對于半導(dǎo)體制造行業(yè)而言，及時監(jiān)測鍍膜膜厚和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應(yīng)力， 能節(jié)省寶貴的時間和金錢。不均勻的膜層或過大的應(yīng)力，將導(dǎo)致差的優(yōu)良率和不合格

的終端產(chǎn)品性能。 DektakXT 易于設(shè)定、測量快捷，通過不同位置的多點(diǎn)自動測量可確 認(rèn)整片硅表面上薄膜的準(zhǔn)確厚度，其精度可達(dá)納米級別。 DektakXT 的測量重復(fù)性 為工程師們提供準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測量，使其可以精確調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來提  高產(chǎn)品的優(yōu)良率。

混合電路的 DektakXT 3D 圖像

DektakXT 可以可靠測量厚度小于 10nm 的薄膜

測量表面粗糙度 — 確保材料質(zhì)量

在自動化，航空航天， 醫(yī)藥領(lǐng)域等各行各業(yè)，如果需要精確測量材料表面的粗糙度， DektakXT 是一個非常理想的檢測儀器。比如在整形手術(shù)中需要植入的假體，在其背面   涂覆的羥基磷灰石，它的表面粗糙度會影響假體植入到體內(nèi)后的黏附性和手術(shù)效果。使 用 DektakXT 快速檢測材料表面的粗糙度， 可以獲悉晶體材料的生長是否符合工程師的  要求，或者手術(shù)所需的植入體是否通過醫(yī)學(xué)審核允許使用。使用 Vision64 軟件中的數(shù)   據(jù)庫功能，設(shè)定合格/淘汰條件，品管人員可以輕松確定植入體是否需要再加工還是定  為合格品。

人造膝關(guān)節(jié)背面羥基磷灰石涂層的表面粗糙度的 2D 掃描

太陽能電池柵線分析—— 降低生產(chǎn)成本

在太陽能領(lǐng)域，Dektak 已被作為測量單晶和多晶硅電池上主柵、 銀線特征尺寸的首  選設(shè)備。 柵線的高度、寬度和連續(xù)性都直接影響了太陽能電池的能量傳輸能力。生產(chǎn)   過程中的方案是節(jié)約貴金屬銀的使用量，同時又保證銀漿的量足夠覆蓋在電池板上， 完成的電導(dǎo)特性。 DektakXT 可使用線條分析功能為用戶提供柵線的特征尺寸，以   確保足夠的銀漿覆蓋，導(dǎo)電良好。 Vision64 的數(shù)據(jù)分析方法和自動操作功能使這一檢驗(yàn)   核實(shí)的過程可以通過特定設(shè)置后自動完成。

太陽能電池柵線的 DektakXT 3D 圖

DektakXT 追蹤分析的特性可以自動提供導(dǎo)線的寬度，高度，面積和高 寬比，從而獲得太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。

微流體- 確保符合設(shè)計(jì)和質(zhì)量要求

Dektak 是市場上可以測量敏感材質(zhì)上高達(dá) 1mm 垂直臺階的臺階儀，而且測量重復(fù) 性在埃米級別。 DektakXT 為微機(jī)電系統(tǒng)和微流體工業(yè)的研究者提供了關(guān)鍵尺寸測量的可靠 手段，以確保器件符合規(guī)格要求。超微力測量， Nlite+，可以保證在測量敏感材質(zhì)時輕觸

其表面而不破壞樣品表面，得到臺階高度或表面粗糙度數(shù)據(jù)。