技術參數
流量范圍(可用的中間范圍):min.0…500毫升/分鐘
Max.0…20 ln/min(基于N2)
壓力范圍:FF-M10:不可用/FF-M11:0…17 bar(a)
精度(包括線性度)(基于實際校準):高達±0,5%Rd plus±0,1%FS(N2/空氣/O2);
對于其他氣體,增加轉換不確定性;
重復性:
流量傳感器:<±0,2%Rd;
壓力傳感器:<±0,2%FS
減速比:高達1:1000
工作壓力:max.16 bar g
22種氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數據
響應時間(傳感器):<30 ms(T63)
3年內長期穩定性:<0,5%FS;則每年<0,2%FS
安裝任何:位置,姿態靈敏度可忽略不計
溫度靈敏度流量傳感器:零00015%FS/oC;量程0,03%Rd/oC;
壓力傳感器:零0,16 mbar/oC;量程0,05%Rd/oC