Entegris 1寸氣體金屬過濾器 SI2N0100B
Entegris 1寸氣體金屬過濾器 SI2N0100B
產品只能由具備成熟技能的人員組裝、安裝、配置、調試、操作和維護。 具有成熟技能的人員具有根據安全技術的一般標準和指南操作設備、系統、工廠和機械的適當經驗。 用戶有責任只聘用符合以下條件的人員: • 熟悉有關健康和安全以及事故預防的基本規定 • 已閱讀并理解本說明中給出的安全指南 • 熟悉適用于 具體應用
如果出現以下情況,所有保修和責任索賠將無效:
• 產品的使用與預期目的相反
• 損壞可歸因于未遵循手冊中的指南
• 操作人員不具備適當資格
• 已進行任何類型的修改(例如,更換 PCB 板上焊料上的組件)
工作等)
處理
當產品達到其使用壽命時,必須妥善處理。
功能說明
FMEDA 參數
MTTR 24 小時
MTTFd 434 至 526 年或“高"
如果需要更多數據,請聯系 Dynisco。
集成故障檢測機制
• 傳感器輸出高于設定點:如果傳感器的輸出增加超過定義的設定點
(出廠設置為 10% 增量),安全輸出將打開。
• 傳感器打開儀表:如果儀表打開,安全繼電器將打開。
• 電源中斷:如果設備電源中斷,它將默認進入安全狀態(打開)。
連接安全繼電器
繼電器規格
• 大限度。開關電壓:200 Vdc
• 大限度。開關電流:0.5 A
繼電保護
• 250mA 保險絲,帶 20 歐姆串聯電阻
Entegris 全金屬高流量過濾產品系列
滿足供應無顆粒工藝的關注和需求
氣體在交付點。
Wafergard® 散裝在線氣體過濾器可提供鎳過濾
適用于所有工藝氣體的膜。 這些過濾器采用
多種配件類型,以滿足您的安裝要求。
他們擁有 0.0015 µm 過濾技術,可滿足
對超潔凈散裝氣體輸送的苛刻需求。
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
外殼 電拋光 VAR 316L 不銹鋼
去除率 0.0015 µm
內部表面光潔度 <10 µin Ra
下游清潔度 <0.03 顆粒/升(<1 顆粒/ft3
) >0.01 微米
氦泄漏等級 1 × 10-9 atm cc/sec
大工作條件 大工作壓力:
50 bar (725 psig) SI2N0010R, SI2N0025R
31 巴 (450 psig) SI2N0050R、SI2N0100B、SI2N0200B、SI2N0200R
大正向/反向壓差:
5.2 巴 (75 psid)
惰性氣體中的高工作溫度:
200°C (392°F)
顆粒保留 大額定流量下所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
(以穿透性的粒徑為參考)